Ростех разработал технологию получения высокочистых газов

31 декабря 2022 г.
Ростех разработал технологию получения высокочистых газов

Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Собственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники.

Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Входящее в «Росэлектронику» НПП «Салют» разработало технологии промышленного производства моносилана, арсина, фосфина, аммиака, бора трехфтористого, бора треххлористого.

«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных – фтор, трехфтористый азот или бор. Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем. Новые технологии «Росэлектроники» призваны заместить зарубежные материалы, которые использовались в производстве микроэлектронных изделий», – сказал исполнительный директор Ростеха Олег Евтушенко.

На НПП «Салют» созданы технологии получения смесей газов с определенным соотношением по составу и содержанию основных примесей, поставляемых в баллонах высокого давления, и арсина, фосфина, бора трехфтористого, поставляемых в баллонах низкого давления.

Для решения задачи сохранения степени чистоты полученных материалов при их транспортировке и хранении на предприятии предложили использовать специальную подготовку баллонов перед наполнением высокочистыми газами. Такое решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – не менее 12 месяцев.

«Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. В России до настоящего момента отсутствовало производство многих специальных газов требуемого уровня чистоты. Наше предприятие может удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, а при необходимости мы готовы увеличить объемы производства. Кроме того, в настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники», – рассказал генеральный директор НПП «Салют» Александр Бушуев.

НПП «Салют» в составе «Росэлектроники» занимается разработкой и изготовлением сверхвысокочастотной аппаратуры, сообщили в пресс-службе Госкорпорации Ростех.










Видео

Новостная программа «Вести недели» в эфире обратилась к теме Майдана и показала последние события Украины, после чего автор программы и гендиректор ИА «Россия сегодня» Дмитрий Киселев провел параллели между Майданом и последними событиями Армении.

На днях в Армении назревало нечто подобное Майдана, но у власти хватило мужества противостоять, да наверное и ума у оппозиции остановиться. Сейчас в Ереване спокойнее — договорились сами: Киселев

Подробности смотрите в видео.


Лента новостей RSS





  • Reuters
  • Itar Tass
  • Прайм
  • Neonews.am
  • Gazeta.am

Дизайн и разработка сайта - Massaca

  • Facebook
  • Twitter
  • RSS


* — Поля, обязательные для заполнения